華林科納以CDS設(shè)備的持續(xù)穩(wěn)定流量的供液,SDS設(shè)備精準(zhǔn)的配比,順暢的供液,輔助您線上設(shè)備,加快您的速率,提高您成品保障,提高您的產(chǎn)能。
華林科納優(yōu)勢:
如何流量持續(xù)穩(wěn)定?
CDS/SDS設(shè)備選擇
供液系統(tǒng),一般情況下,同種溶液的原液桶為兩個(gè),一備一用。當(dāng)其中一個(gè)桶的液位傳感器檢測到該桶已經(jīng)無液時(shí),信號會自動使切換閥切換到另一個(gè)滿桶繼續(xù)工作。
另一種情況,受客戶場地或廠務(wù)因素等影響,供液系統(tǒng)與工藝機(jī)臺處于不同高度。
操作安全:系統(tǒng)具抗腐蝕性、毒性、耐壓、防燃防爆等功能,保證操作者安全;
兼容性:與化學(xué)品接觸部分完全與輸送化學(xué)品兼容,對化學(xué)品零污染;
流量及揚(yáng)程:滿足供液過程中的流量和揚(yáng)程要求,對高濃度化學(xué)品(如H2SO4、H3PO4)和具有垂直落差(供液系統(tǒng)與工藝機(jī)臺不在同一高度)的動力空間;
自動控制操作運(yùn)轉(zhuǎn):系統(tǒng)單元與機(jī)臺界面自動化;
精確配比:系統(tǒng)連續(xù)供液(配液,補(bǔ)液)過程中準(zhǔn)確可靠,脈動性較好;
取樣分析:便于對系統(tǒng)中管路的粒子、金屬離子等取樣分析;
泄露警報(bào):檢測泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO);
根據(jù)不同場地需求,不同藥液,選擇設(shè)備材質(zhì),管路走向,一備一用的原液桶自由切換,同時(shí)信號報(bào)警,更換原液,保障設(shè)備持續(xù)運(yùn)行,提高產(chǎn)能;
泵的選擇:
供液泵作為動力源,常與閥門、管道、流量計(jì)等組成自動供液系統(tǒng),用于配液、補(bǔ)液。
供液泵的選擇,采用CDA作為動力源,選用的材質(zhì),需對各種腐蝕性液體、帶顆粒的液體、高粘度、易揮發(fā)、易燃的液體均可傳輸;
隔膜泵,風(fēng)囊泵特點(diǎn):具有自吸功能,可空轉(zhuǎn)運(yùn)行,沒有機(jī)械密封,不會產(chǎn)生顆粒及污染,適用于中高黏度的液體,膜片抗腐蝕。
管路的安裝處理
管路采用耐酸堿PFA材質(zhì);
規(guī)范施工安裝(安裝布局位置均按設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn))
氣液分離器,保證管路系統(tǒng)中傳輸液體的連續(xù)穩(wěn)定性
如何配比(配液)精確?
根據(jù)不同化學(xué)品/Slurry 特性選擇不同輔助功能:循環(huán),攪拌,加濕,噴淋,吹掃等;
電子秤的運(yùn)用:
電子秤精度一般1/3000~1/1000,主要用于相對穩(wěn)定藥液,對溫度,壓力等要求低,具有不易揮發(fā)性;
減少噴淋,吹掃,加濕,攪拌等輔助功能對混合儲罐的連接影響,增強(qiáng)電子秤準(zhǔn)確性;
進(jìn)液管路側(cè)向進(jìn)液,不直沖罐體;
流量計(jì)的使用:
保證管路內(nèi)不存在氣泡,流速均勻,可采用我司特制氣液分離器;
泵的選擇,內(nèi)膜片穩(wěn)定運(yùn)行,氣動穩(wěn)定;
管路安裝,減少彎頭及水錘現(xiàn)象;
確保管路內(nèi)沒有藥液殘留
公司歷史悠久
技術(shù)支撐
華林科納與蘇州納米研究所合資共建,保障了前沿技術(shù)、核心技術(shù)、關(guān)鍵技術(shù)的研究和開發(fā);
研發(fā)團(tuán)隊(duì)
華林科納具有高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì),核心技術(shù)人員來自德國、臺灣、蘇州納米所,均有十五年以上CDS和WETBENCH的研發(fā)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn);
2020年,我司對標(biāo)國外一流廠商,建成千級濕法實(shí)驗(yàn)室,是國內(nèi)唯一能配合用戶實(shí)現(xiàn)DEMO的廠家
華林科納供液系統(tǒng)供應(yīng)的slurry>40種,chemical>20種,Fab>60,90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB,在最新的14-28nm FAB里,有超過200套的供液系統(tǒng)業(yè)績。產(chǎn)品全面對標(biāo)國際領(lǐng)先產(chǎn)品,獲得國內(nèi)外頭部客戶的認(rèn)可。
工藝優(yōu)勢
針對性強(qiáng)
針對特種化學(xué)品液體本身的特點(diǎn)和使用需求進(jìn)行設(shè)計(jì)施工,因此具備很強(qiáng)的針對性。
針對性施工與檢測
針對性優(yōu)化設(shè)計(jì)
針對性選材與采購
安全性高
化學(xué)品管道設(shè)備強(qiáng)調(diào)安全第一,所有設(shè)計(jì)和施工符合相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范如:根據(jù)根據(jù)化學(xué)品性質(zhì)確保設(shè)備材料耐腐和抗壓能力。
安全標(biāo)識明確,定時(shí)間檢查空氣質(zhì)量
工具,設(shè)備,消防系統(tǒng)保養(yǎng)
電器電線及設(shè)備定時(shí)檢修維修
靈活性大
可根據(jù)實(shí)際施工要求進(jìn)行調(diào)整與規(guī)劃。
靈活性施工可以在變化中保證施工進(jìn)度及質(zhì)量
靈活性售后,服務(wù)相應(yīng)快24小時(shí)On call服務(wù)20分鐘內(nèi)響應(yīng)客戶服務(wù)時(shí)間在工作時(shí)間,12小時(shí)內(nèi)到達(dá)客戶現(xiàn)場,假日期間:18小時(shí)內(nèi)到達(dá)。
選擇正確的設(shè)備,專業(yè)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),強(qiáng)大的專業(yè)制作團(tuán)隊(duì),完善的售后服務(wù),給您優(yōu)秀的輔助,帶來質(zhì)的飛躍。
華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(CSE)將繼續(xù)為中國半導(dǎo)體行業(yè)做出努力和貢獻(xiàn)。
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