據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,韓國(guó)半導(dǎo)體制造商 SK 海力士旗下的一座工廠,發(fā)生了化學(xué)品泄漏事故,導(dǎo)致 3 名工人受傷,但半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)不會(huì)受到影響。
從韓國(guó)媒體的報(bào)道來看,發(fā)生化學(xué)品泄漏事故的,是 SK 海力士位于韓國(guó)利川市的 M16 工廠,事故發(fā)生在這一工廠的 5 樓,泄漏的是氫氟酸。
韓國(guó)媒體在報(bào)道中表示,泄漏事故發(fā)生時(shí),工人正在對(duì) 5 樓的設(shè)備進(jìn)行檢查,3 名工人在泄漏事故中受傷。SK 海力士方面透露,泄漏事故是在檢查設(shè)備時(shí)發(fā)生的,不會(huì)對(duì)生產(chǎn)造成影響。
氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液,清澈,無色,有極強(qiáng)的腐蝕性和劇烈刺激性氣味,能強(qiáng)烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體,在半導(dǎo)體行業(yè)中,氫氟酸用于除去硅表面的氧化物。
發(fā)生氫氟酸泄露事故的 M16 工廠,是 SK 海力士剛剛建成的一座新工廠。SK 海力士官網(wǎng)的信息顯示,M16 工廠在 2018 年的 11 月動(dòng)工,工廠投資 3.5 萬億韓元,歷時(shí)兩年建成,在今年 2 月 1 日舉行了竣工典禮,當(dāng)時(shí) SK 集團(tuán)會(huì)長(zhǎng)崔泰源、副會(huì)長(zhǎng)崔再源、SK 海力士 CEO 李錫熙等多位 SK 集團(tuán)和 SK 海力士的高管出席了竣工儀式。
SK 海力士官網(wǎng)的信息還顯示,M16 工廠建成之后,將主要用于生產(chǎn) DRAM 產(chǎn)品,作為 SK 海力士面向未來的一座重要工廠,M16 工廠還引進(jìn)了極紫外光刻機(jī),這是 SK 海力士首次引進(jìn)這一類設(shè)備。